王晨曦 教授 博士 山东省 研究领域: 新材料 研究方向: 1. 芯片键合新技术 2. 晶圆键合关键技术与装备 3. 三维集成与封装 4. 精密焊接与微纳连接 5. 医用新材料连接 所在单位: 哈尔滨工业大学

基本信息

所在单位:
哈尔滨工业大学
机构细分:
材料科学与工程学院
单位类型:
高等院校
职务:
教授
职称:
教授
最高学历:
博士
出生年份:
1980-01-01
教育经历:
1998年--2002年 哈尔滨工业大学 材料学院 焊接系 本科 (英才学院本硕连读)
2002年--2004年 哈尔滨工业大学 材料学院 焊接系 硕士
2004年--2005年 新加坡国立大学 机械工程系 研究生
2005年2月--9月 东北师范大学 留日本预备学校 日语学习
2005年--2009年 东京大学 精密机械工程系 博士 (获日本政府文部省奖学金)
工作经历:
2009年8月 - 2011年7月 东京大学 工学系研究科 日本学术振兴会特别研究员(JSPS fellow)
2011年10月 - 2014年12月 东京大学 工学系研究科 主任研究员
2014年12月- 2019年12月 哈尔滨工业大学 材料学院 副教授
2018年4月- 至今 哈尔滨工业大学 材料学院 博士生导师
2019年12月- 至今 哈尔滨工业大学 材料学院 教授
专家介绍:
王晨曦,男,1980年10月出生于黑龙江省伊春市,博士,教授,博士生导师,黑龙江省一流课程负责人,材料学院焊接系电子封装技术专业/先进焊接与连接国家重点实验室教师。
日本东京大学博士,主要研究方向为芯片键合、异质异构晶圆键合、三维集成与封装、医用新材料连接。曾获日本学术振兴会(JSPS)外国人特别研究员奖励资助,作为主任研究员曾参与日本科技振兴机构战略创造推进事业重大项目(JST-CREST)。回国后主持国家自然科学基金3项(重大研发计划、面上、青年各一项),承担省级及企业横向课题二十余项。在ACS Nano, Acta Biomaterialia, ACS AMI,Corrosion Science, JMST, Scripta Materialia, APL等期刊和国际会议上发表SCI/EI论文130余篇,5篇论文入选期刊封面图片,7篇论文获国际会议最佳论文奖、最佳口头报告奖和杰出论文奖,参编国际会议论文集1部。已授权中国发明专利14项和日本发明专利2项,国际会议特邀报告5次,2017年至今担任电子封装技术国际会议(ICEPT)分会场主席,目前担任中国机械工程学会焊接分会委员会委员、电子封装国际会议学术委员会委员,IEEE Senior Member,中国机械工程学会高级会员,曾获国家优秀自费留学生奖学金、东京大学工学院院长奖、2021年黑龙江省自然科学一等奖。教学方面,获黑龙江省高校课程思政教学竞赛一等奖,黑龙江省高校教师教学创新大赛一等奖,哈工大首届课程思政教学竞赛一等奖,哈工大研究生课程教学竞赛一等奖,哈工大教学优秀奖一等奖,参编教材2部,主持承担省级和校级教研项目4项。
专家荣誉:
2003年年获电子封装国际会议大会最佳论文奖(Best Paper Award of ICEPT2003)
2004年获哈尔滨工业大学首届研究生“十佳英才”
2005年获日本文部科学省国费奖学金 (2005-2008年)
2007年获电子封装国际会议大会最佳论文奖(NXP Semiconductor Best Paper Award)
2007年 国家优秀自费留学生奖学金
2010年 博士论文获东京大学工学院院长奖
2009年获日本学术振兴会(JSPS)外籍特别研究员奖励基金(2009-2011)
2010年获电子封装国际会议大会杰出论文奖(JCET Outstanding Paper Award)
2010年合作论文获IEEE-CPMT Japan Symposium青年学者论文奖(Young Award)
2011年获2nd Advanced Welding & Joining Technology Conference最佳报告奖(Best Presentation Award)
2011年获电子封装国际会议大会杰出论文奖(JCET Outstading Paper Award)
2016年 哈尔滨工业大学“优秀专兼职工作者”荣誉称号 (班主任)
2017年 哈尔滨工业大学“优秀专兼职工作者标兵”荣誉称号 (班主任)
2017年获电子封装国际会议大会杰出论文奖(ICEPT Outstanding Paper Award)
2018年获哈尔滨工业大学第六届青年教师研究生课程教学竞赛一等奖
2018年获哈尔滨工业大学百优本科毕业论文指导教师(学生:康秋实)
2019年获哈尔滨工业大学首届课程思政教学竞赛一等奖
2020年获哈尔滨工业大学优秀硕士学位论文指导教师(学生:康秋实)
2020年获哈尔滨工业大学教学优秀奖一等奖
2021年获哈尔滨工业大学优秀硕士学位论文指导教师(学生:周诗承)
2021年获电子封装国际会议大会学生最佳论文奖(Best Student Paper Award, 指导教师)
2021年获黑龙江省自然科学一等奖(排名5)
2022年获黑龙江省第二届高等学校课程思政教学竞赛一等奖
2022年获哈尔滨工业大学优秀博士学位论文指导教师(学生:方慧)
2023年获第三届黑龙江省高校教师教学创新大赛一等奖
2023年获哈尔滨工业大学本科优秀毕业论文指导教师(学生:刘凯盟)
2023年获哈尔滨工业大学优秀硕士学位论文指导教师(学生:李戈)
2024年获哈尔滨工业大学优秀博士学位论文提名奖指导教师(学生:康秋实)
2024年获“挑战杯”黑龙江省大学生创业计划竞赛优秀指导教师

科研能力

研究领域:
新材料
研究方向:
1. 芯片键合新技术
2. 晶圆键合关键技术与装备
3. 三维集成与封装
4. 精密焊接与微纳连接
5. 医用新材料连接
论文著作:
1. Hui Fang, Shicheng Zhou, Xiaoyun Qi, Chenxi Wang*, Yanhong Tian, “A Multifunctional Osteogenic System of Ultrasonically Spray Deposited Bone-Active Coatings on Plasma-Activated Magnesium”, Journal of Magnesium and Alloys. (accepted and in press) (IF=10.088)

2. Xiaoyun Qi, Shicheng Zhou, Hui Fang, Shuhan Yang, Chunjin Hang, Yanhong Tian, Chenxi Wang*, “One-Step PDA Coating Strategy on Pure Zn for Blood-Contacting Engineering”, Journal of Materials Science & Technology, 123, 2022, pp. 78-91. (IF=8.067)

3. 王晨曦*, 戚晓芸,方慧,康秋实,周诗承,许继开,田艳红. 紫外光活化低温键合研究进展. 机械工程学报, Vol. 58, No. 2, 2022, pp. 122-135.

4. Hui Fang, Shicheng Zhou, Xiaoyun Qi, Yanhong Tian, Chenxi Wang*, “Hybrid Plasma Activation Strategy for the Protein-Coated Magnesium Implants in Orthopedic Applications, Advanced Materials Interfaces, 2022, 2101724. (IF=6.147,入选期刊封面图片)

5. Hui Fang, Xiaoyun Qi, Shicheng Zhou, Shuyan Yang, Chunjin Hang, Yanhong Tian, Chenxi Wang*, “High-Efficient Vacuum Ultraviolet-Ozone Assist-Deposited Polydopamine for Poly(lactic-co-glycolic acid)-Coated Pure Zn toward Biodegradable Cardiovascular Stent Applications”, ACS Applied Materials & Interfaces, 14, 2022, 3536-3550. (IF=9.229,入选期刊封面图片)

6. Hui Fang, Chenxi Wang*, Shicheng Zhou, Ge Li, Yanhong Tian, Tadatomo Suga, “Exploration of the Enhanced Performances for Silk Fibroin/Sodium Alginate Composite Coatings on Biodegradable Mg?Zn?Ca Alloy”, Journal of Magnesium and Alloys, 9, 2021, pp. 1578-1594. (IF=10.088)

7. Qiushi Kang, Chenxi Wang*, Shicheng Zhou, Ge Li, Tian Lu, Yanhong Tian, Peng He, “Low-Temperature Co-hydroxylated Cu/SiO2 Hybrid Bonding Strategy for a Memory-Centric Chip Architecture”, ACS Applied Materials & Interfaces, 13, 2021, pp. 38866-38876. (IF=9.229,入选期刊封面图片,被HIT TIMES报道)

8. Hui Fang, Chenxi Wang*, Daoyuan Li, Shicheng Zhou, Yu Du, He Zhang, Chunjin Hang, Yanhong Tian, and Tadatomo Suga, “Fabrication of Ag@Ag2O-MnOx Composite Nanowires for High-Efficient Room-Temperature Removal of Formaldehyde”, Journal of Materials Science & Technology, 91, 2021, pp. 5-16. (IF=8.067)

9. Jikai Xu, Zhihao Ren, Bowei Dong, Xinmiao Liu, Chenxi Wang*, Yanhong Tian*, Chengkuo Lee*, “Nanometer-Scale Heterogeneous Interfacial Sapphire Wafer Bonding for Enabling Plasmonic-Enhanced Nanofluidic Mid-Infrared Spectroscopy”, ACS Nano, 14, 2020, pp. 12159-12172. (IF=14.588)

10. Chenxi Wang*, Hui Fang, Chunjin Hang, Yaru Sun, Zhibin Peng, Wei Wei, and Yansong Wang*, “Fabrication and Characterization of Silk Fibroin Coating on APTES Pretreated Mg-Zn-Ca Alloy”, Materials Science & Engineering C, 110, 2020, 110742. (IF=5.880)

11. Chenxi Wang*, Hui Fang, Shicheng Zhou, Xiaoyun Qi, Fanfan Niu, Wei Zhang, Yanhong Tian, and Tadatomo Suga, “Recycled Low-Temperature Direct Bonding of Si/Glass and Glass/Glass Chips for Detachable Micro/Nanofluidic Devices”, Journal of Materials Science & Technology, 46, 2020, pp. 156-167. (IF=6.155)

12. Hui Fang, Chenxi Wang*, Shicheng Zhou, Zhen Zheng, Tian Lu, Ge Li, Yanhong Tian, and Tadatomo Suga “Enhanced Adhesion and Anticorrosion of Silk Fibroin Coated Biodegradable Mg-Zn-Ca Alloy via a Two-Step Plasma Activation”, Corrosion Science, 168, 2020, 108466. (IF=6.479)

13. Jikai Xu, Chenxi Wang*, Xiaojiang Ji, Qi An, and Yanhong Tian*, and Tadatomo Suga, “Direct Bonding of High Dielectric Oxides for High-Performance Transistor Applications”, Scripta Materialia, 178, 2020, pp. 307-312. (IF=5.155)

14. Jikai Xu, Chenxi Wang*, Runbo Zhang, Ji Cheng, Ge Li, Junshan Xiang, and Yanhong Tian*, “VUV/O3 Activated Direct Heterogeneous Bonding towards High-Performance LiNbO3-Based Optical Devices”, Applied Surface Science, 495, 2019, 143576. (IF=6.182)

15. Chenxi Wang*, Hui Fang, Xiaoyun Qi, Chunjin Hang, Yaru Sun, Zhibin Peng, Wei Wei, and Yansong Wang*, “Silk Fibroin Film-Coated MgZnCa Alloy with Enhanced in Vitro and in Vivo Performance Prepared Using Surface Activation”, Acta Biomaterialia, 91, 2019, pp. 99-111. (IF=7.242)

16. Chenxi Wang*, Jikai Xu, Shu Guo, Qiushi Kang, Yuan Wang, Yiping Wang, and Yanhong Tian, “A Facile Method for Direct Bonding of Single-Crystalline SiC to Si, SiO2, and Glass Using VUV Irradiation”, Applied Surface Science, 471, 2019, pp. 196-204. (IF=6.182)

17. Jikai Xu, Chenxi Wang*, Yanhong Tian*, Bin Wu, Shang Wang, and He Zhang, “Glass-on-LiNbO3 Heterostructure Formed via a Two-Step Plasma Activated Low-Temperature Direct Bonding Method”, Applied Surface Science, 459, 2018, pp. 621-629. (IF=6.182)

18. Jikai Xu, Chenxi Wang*, Te Wang, Yannan Liu, and Yanhong Tian, “Direct Bonding of Silicon and Quartz Glass Using VUV/O3 Activation and a Multistep Low-Temperature Annealing Process”, Applied Surface Science, 453, 2018, pp. 416-422. (IF=6.182)

19. 王晨曦*, 王特, 许继开,田艳红. 晶圆直接键合及室温键合技术研究进展. 精密成形工程, Vol. 10, No. 1, 2018, pp. 67-73.

20. Chenxi Wang*, Yuan Wang, Yanhong Tian, Chunqing Wang, and Tadatomo Suga, “Room-Temperature Direct Bonding of Silicon and Quartz Glass Wafers”, Applied Physics Letters, Vol. 110, 221602, 2017.

21. Chenxi Wang*, Yannan Liu, Yue Li, Yanhong Tian, Chunqing Wang, and Tadatomo Suga, “Mechanisms for Room-Temperature Fluorine Containing Plasma Activated Bonding”, ECS Journal of Solid State Science and Technology, Vol. 6, No. 7, 2017, pp. P373-P378. (入选期刊封面图片)

22. Chenxi Wang*, Yannan Liu, and Tadatomo Suga, “A Comparative Study: Void Formation in Silicon Wafer Direct Bonding by Oxygen Plasma Activation with and without Fluorine”, ECS Journal of Solid State Science and Technology, Vol. 6, No. 1, 2017, pp. P7-P13. (入选期刊封面图片)

23. Chenxi Wang*, and Tadatomo Suga, “Investigation of Fluorine Containing Plasma Activation for Room-Temperature Bonding of Si-based Materials”, Microelectronics Reliability, Vol. 52, No. 2, 2012, pp. 347-351. (邀请论文)
发明专利:
专利名称 アライメント装置、アライメント方法および半導体装置(中文:一种对准设备,对准方法及半导体装置)
专利号 日本特許第5324309号
发明人 須賀唯知,王晨曦,山内朗,
申请时间 2013-07-26

专利名称 接合方法および接合システム(中文:一种连接方法及连接系统)
专利号 日本特許第5789798号
发明人 王晨曦,須賀唯知,山内朗,加々見丈二
申请时间 2015-08-14

专利名称 一种利用半导体制冷片进行高低温可控晶圆键合的方法
专利号 ZL201511011062.3
发明人 王晨曦,许继开,田艳红,刘宝磊
申请时间 2018-03-06

专利名称 一种压力可调可用于气体保护下的热压键合夹具
专利号 ZL201610185303.4
发明人 王晨曦,许继开,田艳红,王春青
申请时间 2018-02-23

专利名称 一种利用水蒸气辅助及紫外光活化键合装置及方法
专利号 ZL201610255681.5
发明人 王晨曦,许继开,田艳红,黄圆,石成杰
申请时间 2017-09-29

专利名称 一种辅助手动晶圆键合装置
专利号 ZL201610337329.6
发明人 王晨曦,许继开,田艳红,刘艳南,曾小润,王春青
申请时间 2018-03-30

专利名称 一种在丝素蛋白包覆下可延缓镁合金降解的复合结构
专利号 ZL201611064896.5
发明人 王岩松,王晨曦
申请时间 2019-03-26

专利名称 一种用于镁合金与丝素蛋白之间连接的方法
专利号 ZL201611063582.3
发明人 王晨曦, 王岩松,孙亚汝
申请时间 2019-03-26

专利名称 一种交叉十字键合法测量晶片键合强度的方法及夹持装置
专利号 ZL201710420121.5
发明人 王晨曦,许继开,戚晓芸,籍晓亮,刘艳南,田艳红,王春青
申请时间 2019-05-24

专利名称 一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法
专利号 ZL201810380617.9
发明人 王晨曦,许继开,王源,吴斌,康秋实,王特,赵珈辉,李义邦
申请时间 2020-03-31

专利名称 一种利用水蒸气预处理表面的等离子体活化直接键合方法
专利号 ZL201810380619.8
发明人 王晨曦,许继开,康秋实,聂啸,卢达洲,吴斌,戚晓芸,田艳红
申请时间 2021-04-20

专利名称 一种基于表面处理的镁合金与丝素蛋白连接方法
专利号 ZL201810667795.X
发明人 王晨曦,戚晓芸,孙亚汝,鲁添,王岩松
申请时间 2021-03-23

专利名称 一种银纳米焊膏低温无压烧结方法
专利号 ZL201910346433.5
发明人 王晨曦,王特,方慧,周诗承,牛帆帆,杭春进,田艳红
申请时间 2021-03-23

专利名称 一种基于静电纺丝制备掺杂氧化银的氧化锰纳米线网络的方法及其在催化分解甲醛中的应用
专利号 ZL201910750842.1
发明人 王晨曦,方慧,厉道远,黄博妍,周诗承,田艳红
申请时间 2022-01-25

专利名称 一种利用等离子体活化直接键合氧化锆和三氧化二铝的方法
专利号 ZL201910761248.2
发明人 王晨曦,许继开,张闰勃,黄博妍,田艳红
申请时间 2021-10-15

专利名称 一种多步协同表面活化低温混合键合方法
专利号 ZL202010113428.2
发明人 王晨曦,康秋实,周诗承,鲁添,何洪文,李珩,戚晓芸,胡天麒
申请时间 2022-06-10

专利名称 一种基于莫尔条纹的晶圆键合对准系统及方法
专利号 ZL202110645471.8
发明人 王晨曦,戚晓芸,闫寒,周诗承,陈航,康秋实,田艳红
申请时间 2022-08-02
专利类别 发明
说明:上述发明专利均已获得授权,显示的
申请时间为授权时间。

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