碳基功能薄膜材料的等离子体制备及应用等

1. 周兵, 等. 用于外延生长大尺寸单晶金刚石的复合衬底的制备方法, ZL202111149654.7.
2. 周兵, 等. 一种具有金刚石钝化层的氮化镓基二级管器件的制备方法, ZL202111149330.3.
3. 周兵, 等. 一种低界面热阻金刚石基氮化镓晶片材料的制备方法, ZL202110811294.6.
4. 周兵, 等. 一种金刚石基氮化镓高电子迁移率晶体管及其制备方法, ZL202110811292.7.
5. 周兵, 等. 一种同质/异质混合外延生长大尺寸单晶金刚石的制备方法, ZL202111075236.8.
6. 周兵, 等. 一种金刚石基非晶碳-氧化钇梯度复合增透膜的制备方法, ZL202111149652.8.
7. 周兵, 等. 一种钛硅共掺杂非晶碳氮复合薄膜的制备方法, ZL202111019565.0.
8. 周兵, 等. 一种场发射类金刚石-二氧化钛纳米管复合薄膜的制备方法, ZL202010971164.4.
9. 周兵, 等. 一种制备强韧化非晶碳基多相杂化薄膜的装置及方法, ZL202010723691.3.
10. 周兵, 等. 一种提高钛/铝复合板界面结合强度的方法, ZL202010692052.5.
11. 周兵, 等. 一种高透明光致发光的氧化锌-聚乙烯复合涂层的制备方法, ZL201810467437.4.
12. 周兵, 等. 一种提高硬质合金表面钛铝氮涂层强韧性的方法, ZL201811302283.X.
13. 周兵, 等. 一种制备铝氮共掺类金刚石复合薄膜的方法, ZL201810556974.6.
14. 周兵, 等. 一种在硅表面制备非晶碳氮薄膜的装置及方法, ZL201610422751.1.

1. 国家重点研发计划政府间科技创新合作重点专项“金属基活性层衬底结构设计及其对金刚石薄膜生长调控的催化机制研究”2023-2024；
2. 山西省回国留学人员科研资助项目“高质量大尺寸单晶金刚石薄膜的异质外延形核与生长机制研”2022-2025；
3. 山西省应用基础研究计划面上基金项目“类金刚石基多相杂化薄膜的非均质结构设计及界面强韧化机制”2022-2024；
4. 山西省高等学校科技成果转化培育项目“新型金刚石/Cu复合结构研发及在5G芯片系统中的应用”2020-2022；
5. 科技部中国-白俄罗斯政府间科技交流项目“高强韧金属氮化物/非晶碳基复合薄膜的非均质结构设计及其关键技术研发”2019-2020；
6. 国家自然科学基金国际合作交流项目“摩擦部件用金属-非晶碳基纳米复合梯度涂层的等离子化学制备及其结构与物化性能研究”2018-2019；
7. 国家自然科学基金青年基金项目“选择性键合功能层/类金刚石纳米多层薄膜的增强增韧机制研究”2016-2018；
8. 科技部中国-白俄罗斯政府间科技交流项目“摩擦单元表面非晶碳基多层复合薄膜强韧化关键技术研发”2016-2018；
9. 山西省重点研发计划国际合作项目“高性能非晶碳基多层复合薄膜的等离子体制备及其工程应用”2016-2018；
10. 山西省（人社部）留学回国人员科技活动择优资助重点项目“功能层/类金刚石纳米多层薄膜的增强增韧机制研究”2016-2018；
11. 山西省应用基础研究计划青年基金项目“类金刚石基纳米多层薄膜的强韧化机制研究”2016-2018。

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