高效大尺寸面冷却微通道换热技术

随着微电子器件和激光二极管、高功率固体激光等技术的不断发展，其局部热耗密度不断增大，对高热流密度的换热技术提出越来越高需求。具有大尺寸面冷却换热器，采用微加工刻蚀的方法，在单晶硅、铜钨合金、不锈钢等材料内部，实现流体流动的微通道路径，实现流体冷却的大比表面面积换热，显著地提高表面换热能力，达到10W/cm2•K的换热能力。目前换热表面达到230X230mm2，为减小表面应力，表面采用低温真空焊接工艺封装，保障了表面面形精度，达到20nm（rms），适用于大面积高热载精密光电领域应用。